高階HDI板(10階)技術(shù)案例
發布時間:2026-06-02 08:59:52
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產品(pǐn)介紹 Ø 應用領域:AI服務器(qì) Ø 產品類型:10階HDI (10次壓合) Ø 層數:32層 Ø 板厚:3.5mm Ø 板(bǎn)材(cái)等級(jí):M7 Ø 35組阻抗 :非(fēi)電鍍層±5%;電鍍層±7% Ø 表麵處理:沉金 |
技術難點:
1、多次壓合:產品為 10階 10壓超(chāo)高(gāo)階 HDI,多輪次熱壓成型熱應力累積顯著,各(gè)疊層基材、半固化片(piàn)材料熱膨脹係數(CTE)匹配性要求嚴苛,易(yì)引發尺寸漲縮、層間應力失(shī)衡、板曲翹及層間分層缺陷。產品為 10階 10 壓超高階 HDI,多輪次熱壓成型熱應力累(lèi)積顯(xiǎn)著,各疊層(céng)基材、半固化片(piàn)材料熱(rè)膨脹係數(shù)(CTE)匹配性要求嚴(yán)苛,易引發尺寸漲縮、層間應力失衡(héng)、板(bǎn)曲翹及層間分層缺陷
2、鐳(léi)射疊孔的對準度:存在 10 階連續疊孔結(jié)構,曆經(jīng)多次壓合後(hòu)基材整體漲縮、局部區域形變明顯,層間偏移(yí)風險高;對對位靶標選取、分層漲縮補償、設備對位精度管控要求極高(gāo),高階累(lèi)積偏差易造成疊孔偏心、孔位超差
3、埋孔樹脂塞孔熱適配性:內層埋孔(kǒng)樹脂塞孔(kǒng)需承受 10 次循環高溫壓合,塞孔樹脂、基材、銅箔三者 CTE 熱匹配難度大,易出現樹脂龜(guī)裂(liè)、收縮凹陷(xiàn)、孔壁結合力不良、內(nèi)層微裂及(jí)爆板(bǎn)風險
4、最外層機(jī)械通孔與內部(bù)多階(jiē)盲孔、埋孔導通匹配難度大,受前期(qī)層間偏移與尺(chǐ)寸漲縮影響,易產生孔係偏(piān)心、孔環(huán)不(bú)足、導通不良等製程缺陷
5、10階HDI可靠性要(yào)求高:高階疊(dié)層內(nèi)部結構複(fù)雜應力集中,需滿足 HCT、TCT 嚴苛可靠性測試;鐳射微(wēi)盲孔填孔對填充致密性、表麵(miàn)平整度、無空洞氣泡要求(qiú)高(gāo),多次熱壓易造成填孔收(shōu)縮、孔麵凹(āo)陷及可靠性失效
我司對策:
1、選用低 CTE 高穩定基(jī)材與配套半固化片,統一層間材(cái)料熱參數;采用對稱疊層結構,優化階梯式壓合升溫曲線;每階壓合後(hòu)進(jìn)行應力釋放時效處理,抑製熱應力累積與板材翹曲漲縮
2、采(cǎi)用多點位(wèi)分(fèn)散複合對位靶標;建立逐級漲縮工程補償(cháng)體係;優化鐳射對位基準點,嚴控層間累積偏(piān)移(yí);LDI曝光自由漲縮,嚴控內層(céng)圖形尺寸,實時修正局部形變偏差
3、選用(yòng)低收縮(suō)、高耐(nài)熱專用塞孔樹脂;采用(yòng)高致密真空塞孔工藝,充分(fèn)後固化處理;優化(huà)界麵熱應力匹配,避免多(duō)次熱壓造成樹脂開裂(liè)、收(shōu)縮凹陷(xiàn)
4、所有層統一對位基準點選擇基準(zhǔn),綜合累計(jì)漲(zhǎng)縮對外層鑽孔前置補償;優化機械鑽孔(kǒng)定位精度,嚴控孔位同軸度;增加 X 光孔位檢測,實時監控修正孔係偏差
5、采用高品質致密(mì)鐳射填孔工藝,保證無空洞、平整性優良;嚴控孔壁(bì)沉銅電鍍銅厚(hòu)均勻性與結合力;優化全流程應力管控,提升產(chǎn)品耐 HCT、TCT 循環衝(chōng)擊性能,前置抽樣驗證可靠性

鐳射孔切片圖

