電子半導體VOCs一體機（jī）廢氣處理方案
2023-05-08 16:53
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排（pái）放。其廢氣的主（zhǔ）體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險汙染物，分離和處理難度比較大。下麵為您介紹半導體廢氣處理方法：
半導體酸廢氣處理方法
半導體酸廢氣處理通常采用堿液體噴淋法，又稱化（huà）學（xué）洗滌法。因（yīn）液體自身具有的溶解特性，可（kě）以更好地捕捉（zhuō）沉降，溶解去除汙染物，而達到大氣排放標準（zhǔn），故（gù）噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。
新材料行業半導體廢氣處理的方法（fǎ）
新材料（liào）行業與傳統材料相比，新材料產業具有技術高度密集，研究與開發投入高（gāo），產品的附（fù）加值高，生產與市場（chǎng）的國際性強，以及應用範圍廣（guǎng），發展前景好（hǎo）等特點，其研發水（shuǐ）平及產業化規模已成為衡量一個國家經濟，社會發展，科技進步和國（guó）防實力的重要標誌，世（shì）界各國特別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。
作為新材料產業的代表之（zhī）一，半導體工藝對操作室清潔度（dù）要求（qiú）極高（gāo），通常使用（yòng）風機抽取工藝過程中揮發（fā）的（de）各類廢（fèi）氣，因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大（dà）、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有（yǒu）機廢氣和有（yǒu）毒氣體。
半導體行業廢氣處（chù）理方法
半導（dǎo）體行業有機廢氣處理方法，通常先（xiān）用沸石轉輪對VOCs進（jìn）行吸附濃縮之後，再用直接燃燒（shāo）法進（jìn）行（háng）銷毀，廢氣淨化率達到97%以上。
直接燃燒（shāo）又稱為直接火焰燃燒（shāo），它是把（bǎ）VOCs可燃組分直接（jiē）燒掉（diào），因此該方法適用於淨化可（kě）燃有害組分濃度較高的廢氣，或者淨化有害組分（fèn）燃燒時熱值較（jiào）高的廢氣；多種可燃氣體或多種（zhǒng）溶劑蒸氣混合在廢氣中，隻要濃度值適宜，也可以直接燃燒。如果可燃組分（fèn）的濃度高於燃燒上限，可以混入空氣後燃燒；如果可燃組分的濃度低於燃燒下（xià）限，則（zé）可以加（jiā）入一定數量的（de）輔助燃料如天然氣等，維持燃（rán）燒。
電子半導體行業廢氣處理適合產品
沸石轉輪VOCs廢氣處理(治理)一體機
產品概述
沸石轉筒濃縮+CO催化燃燒廢氣處理一體化（huà）裝置是我公（gōng）司開發的新型廢氣（qì）處理裝置，引進（jìn）核心部（bù）件，結合（hé）我公司多年來積累的廢氣治理經驗（yàn），共同（tóng）推廣的高效節能，無二次汙染的新（xīn）型係列產（chǎn）品，該產品（pǐn）運行穩定，安全，綜合（hé）運（yùn）行成本低（dī），為環保治理項目增（zēng）加了新的選項。
運作原理
廢氣通過濃縮轉輪吸附區將 (VOC)吸附，達（dá）到淨化效果。被吸（xī）附 (VOC)在脫附區通過少量熱風進行脫附。由此達到濃縮效果。
吸附過程：吸附床分16個扇區，裏（lǐ）麵填充顆粒態分（fèn）子篩，當（dāng）廢氣穿過吸附床（chuáng）層時，VOC分子被截留（liú）下來，達到淨化的目的。
脫附過程：當介質吸附一定量的VOC後，在穿透濃度的（de）安全閾值之前進（jìn）行脫附。引入熱空氣（180-220℃），通過升溫和變壓兩種（zhǒng）方式進行解析再生。 脫附下來的（de）高濃度廢氣引入燃（rán）燒（shāo）爐中進（jìn）行徹底分解。
冷卻過（guò）程：介質（zhì）降到常溫恢複吸附性能，可以專門進行冷空氣冷卻，也可以用廢（fèi）氣直接冷卻，根據（jù）應用場合選定。
工藝特點
筒式轉輪適合大風量+低濃度廢氣
01、間（jiān）歇作業，非連續性生產，波動大；
02、高沸點VOC，DMF、鄰（lín）二甲苯等；
03、小分（fèn）子VOC、甲醇（chún）、CS2、糠醛等；
04、濕度大工況，相對濕度（dù）大；
顆（kē）粒態轉筒一個重要特點（diǎn）可以根據氣體（tǐ）成分靈（líng）活定製吸附介質，以應對一些比（bǐ）較難處理的VOC項目（mù），如糠醛、甲（jiǎ）醇（chún）、CS2等行業（yè）的廢氣（qì）。
疏水矽沸石吸附劑呈現強烈的疏水/親油（yóu）特性、具（jù）有尺寸均勻的孔道（dào）、較大的比表麵積（500~1000㎡/g）和較大（dà）的吸附容（róng）量，可用於從廢氣中吸（xī）附去除許多有機物分子，是一種新型的環保材料。脫附溫度180-2200C。
在分子篩轉輪上易發生聚合反（fǎn）應的烯烴類物質、有機矽氧烷、沸點超高260℃以上的大分子物質等（děng），可能會對轉輪造成永久性損壞。現（xiàn）列出轉輪無法處理（lǐ）的物（wù）質成分、不允許（xǔ）進入轉輪（lún）的物質（zhì）和限製進入（rù）轉輪的（de）物質，列表如下：
狀態 |
物質成分 |
現象（xiàng） |
不易（yì）吸附物質 |
甲醇 |
極性強不吸附 |
環己烷 |
構造上不易吸附 |
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甲（jiǎ）醛類（lèi）、其他低沸點物質 |
低沸點不易吸附（fù） |
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不易脫附物質 |
油霧・焦油霧 |
不易脫附 |
可塑劑（DEP,DOP,etc.） |
高沸點不易脫附 |
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Terpineol （鬆油（yóu）醇） |
在細孔內反應並積（jī）蓄 |
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單體氯化乙烯基、丙烯腈、異氰酸酯、其（qí）他聚（jù）合性物質 |
聚合性物質 |
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單乙醇胺 (MEA) |
蒸汽壓力低不易脫附 |
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其（qí）他胺類 |
改（gǎi）變性狀不易脫附 |
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超過 200°C 的高沸點物質 |
不易脫附 |
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蒸汽壓在 20 Pa 以下(at20℃)的物質 |
不易脫附 |
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致分子篩退化物質 |
酸性物質（zhì）、堿性物質 |
沸石退化 |
塗料 |
覆蓋分子篩產生退化 |
表 不允許進入轉輪的物質
不允許進入轉輪（lún）的物質 |
原因 |
含（hán）量控製 |
粉塵（碳酸鈣、鈦白粉、白炭黑、氯化銨、氧化（huà）鐵等） |
堵塞孔道 |
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漆霧（噴塗形成的霧狀液體，樹脂類） |
堵塞孔道 |
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丙烯酸（酯）、丙烯腈、丁二烯等（děng）聚合單體 |
吸附劑失活 |
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異氰酸酯、矽烷（wán）偶聯劑等活性化合物 |
吸附劑失活 |
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沸點大於220℃（二乙二醇丁醚、三乙醇胺、鄰苯二甲酸酯類等） |
不能脫附 |
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熔點大於20℃（苯酚、萘、四甲苯等） |
堵（dǔ）塞孔道 |
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HCl、Cl2、SO2、H2S、NOx、NH3 |
腐蝕性 |
PH=4-10 |
表 限製進入轉輪的物質
|
限製進入轉輪的物質 |
原因 |
含量控製 |
苯乙烯 |
易聚合 |
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易聚合（hé） |
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二氯甲烷、戊烷、乙醇、環己烷 |
不易吸附 |
根（gēn）據效率要求設計 |
甲醇、甲醛（quán）、乙醛、二硫（liú）化碳 |
不（bú）吸附 |
根據效率（lǜ）要求設（shè）計 |
沸點低於40℃（C4以下烷烴、烯烴、鹵代烴等） |
不（bú）吸（xī）附 |
根據效率要求設計 |
二甲苯、三甲苯、環己酮等大分（fèn）子 |
部分轉輪不吸附 |
根據效率要求設計（jì） |
沸點在170-220℃（三甲苯、乙二（èr）醇丁醚、丙二醇、乙二醇、癸烷、NMP、DMSO、DEF、丁內酯等） |
難脫附 |
活性炭過濾或（huò）高（gāo）溫再生 |
基材及沸石晶體結構的破壞是不可逆，聚合物導致通氣道堵塞基材及沸石晶（jīng）體結構的破壞是不 可逆，聚合物導致通（tōng）氣道堵塞可逆的（de）。高沸點物（wù）質殘留導致的石通氣（qì）道堵塞是可（kě）逆，特定（dìng）離線活化工藝可恢複原始性能的80-90%。91香蕉短视频版在线观看免费再按照這（zhè）個標準（zhǔn）再劃分總（zǒng）結，如下：
應用行業
1.各種噴漆車間（jiān）(汽車製造，五金家具、造船、自行車製造，金屬製品等);
2.各種印刷車間(凹版印劇，建築裝潢材料印刷，包裝印刷等（děng）);
3.各種（zhǒng）合成樹脂，橡（xiàng）膠製品（pǐn），半導體，鋁型材，鍍膜等。
適用條件:低濃度，大風量，溫（wēn）度
產品的優勢
1、吸附（fù）性能強；
2、運行成本低；
3、使用壽命長（zhǎng）；
4、維護成本低（dī）；
5、吸附、脫附（fù）連續運營；
6、脫（tuō）附達到能循環狀態 節約能耗。